açıklama
Nano PLD-1000 sistemi, çapı 2 inç'e kadar olan alt tabakalar üzerinde çok katmanlı filmler için tam entegre bir lazer biriktirme cihazıdır. Üç enerji kaynağı kullanır: PhysikCOMPex PRO 110 Coherent Lambda lazer, bir magnetron saçılma kaynağı ve Veeco 3 cm iyon kaynağı.
Temel Bileşenler ve Özellikler:
Lazer Sistemi: Seramik Tüp teknolojisine sahip PhysikCOMPex PRO 110 Lambda excimer lazer (248 nm, KrF), 100Hz'e kadar tekrarlama hızı ve 20 MWatt/puls.
Magnetron Kaynağı: PVD Products 5 cm hedef çaplı Titan magnetron, 0,5 mTorr ila 1 Torr arasındaki basınçlarda DC (maksimum 400 W) veya RF (maksimum 300 W) modlarında çalışır.
İyon Kaynağı: Odak ızgaraları, nötrleştirici, 50-1200 eV ışın enerjisi ve 100 mA maksimum akım ile Veeco 3 cm iyon kaynağı.
Vakum Sistemi:
Aksesuarlar için flanşlı vakum odası (örn. spektroskopi, iyon topu). Pfeiffer su soğutmalı vakum probu, turbo pompa (250 l/s, 60.000 RPM) ve döner pompa içerir.
Vakum göstergeleri: InstruTech Convectron (atmosferik ila 10^-3 Torr) ve Hornet Bayard-Alpert (10^-9 Torr).
Manuel kapatmalı oksijen için kalibre edilmiş MKS dijital akış ölçer (50 sccm).
Optik ve Manipülasyon Özellikleri:
248 nm dalga boyuna sahip sabit optik yol, 2 inç HR aynalar ve daha az kirlenme için 60° lazer geliş açısı.
Bilgisayarlı seçim ve 50 RPM'ye kadar dönüş ile üç konumlu hedef manipülatörü (3" veya 6 x 2", maksimum kalınlık 6 mm).
Alt Tabaka İşleme:
Su soğutmalı kaplamalı alt tabaka ısıtıcı (maksimum 6000°C). Hedef-substrat mesafesi: 75 mm.
Z ekseni motorlu braket (2" strok) ve turbo pompa (70 l/s, 90.000 RPM) ile numune değişimleri için programlanabilir kapak. Temel basınç: < 5 x 10^-8 Torr.
Ek Özellikler:
Nano PLD IW Akıllı Pencere sistemi, kuvars cam disk ve genişletilmiş optik yol temizliği için ışın ayırıcı.
Substrat sıcaklığının (500-2000°C) izlenmesi için optik pirometre (0,78-1,06 μm spektral aralık).
Düzgün film birikimi için kütle akış ölçerler, su soğutucu, hava kompresörü ve döner alt tabaka düzeneği (40 RPM'ye kadar).
Bu açıklamalar otomatik olarak çevrilmiştir lütfen dikkat ediniz. Daha fazla bilgi için bize ulaşın. Bu sınıflandırılmış reklamın bilgileri yalnızca gösterge niteliğindedir. Firmamız, satın almadan önce satıcıyla ayrıntıları kontrol etmenizi önerir.